Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Schwindungs- und Erweichungsverhalten eines blei- und schwermetallfreien Abdeckglases für AlN-kompatible Pasten
Aluminiumnitrid zeichnet sich durch seine hohe Warmeleitfähigkeit im Bereich von 18 bis 200 W/mK, gute dielektrische Eigenschaften und einen Ausdehnungskoeffizienten nahe dem von Silicium aus. Diese Eigenschaften machen Aluminiumnitrid zu einem hervorragenden Substratmaterial fur die Leistungs- und Mikroelektronik. Für dickschichttaugliche Pastensysteme sind niedrig schmelzende und schwermetallfreie Gläser mit angepasstem Ausdehnungskoeffizienten erforderlich, da diese keine Reaktivität gegenüber Nitridkeramiken zeigen. Es werden Gläser als Haftvermittler und für isolierende Abdeckungen von Metallisierungen benötigt.