Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTSBesondere Werkstoffkompetenz besteht für Komplexperowskite, die als piezokeramische bzw. dielektrische Hochleistungskeramiken Träger aktorischer, sensorischer und elektronischer Funktionen in monolithischen Bauelementen und Werkstoffverbunden mit Polymeren, Metallen, Gläsern und weiteren Keramiken sind. Aktuelle Werkstoffentwicklungen betreffen bleifreie Piezokeramiken, texturierte Piezokeramiken, PZT-Dickschichten, piezoelektrische Faserkomposite und oxidische Funktionsschichten für die Mikroelektronik. Bei der Suche nach neuen Werkstoffsystemen werden Hochdurchsatzverfahren entwickelt und eingesetzt. Dickschicht-, Multilayer- und Piezokomposittechnologien liegen als geschlossene technologische Ketten vor. Die Kombination mit unikalen Entwurfs- und Charakterisierungstools erlaubt uns innovative Entwicklungen in der Piezotechnik, Adaptronik/Mechatronik, Mikrosystemtechnik und Mikroenergietechnik.
Zur Darstellung von Dünnschichten finden CVD-, PVD- und Sol-Gel-Verfahren sowie das reaktive Ionenätzen für die Strukturierung Anwendung.
Leistungsangebot
- Sensor-, Aktor- und Kondensatorwerkstoffe (Pulver- und Sol-Gel-Technologie sowie Ionenätzen)
- Piezokeramische Dickschichten und piezokeramische Multilayer (Siebdruck-, Abform- und Folientechnologien)
- Kompositbauteile / Mechanische Bearbeitung (CAD-CAM-CNC) / Piezofasertechnologie