EmiHF: Neue Klima- und Hochfrequenztechnik für Hochfrequenzelektromigration in Kupfernanoleiterbahnen und Zuverlässigkeitsforschung für die Automobilelektronik

Ziele des Projekts

1. Elektromigration ist ein kritischer Schadvorgang in Leiterbahnen auf Mikrochips. Elektronen des Stromflusses transportieren Metallionen des Leitungsmaterials aufgrund der hohen Stromdichte durch Impulsübertrag. Es entstehen Poren, die zum Ausfall führen.
   
   Besonders für z. B. Radartechnik im Automobil steigt die Relevanz von hochfrequenten Strömen in Mikroelektronikschaltkreisen. Bisher wurde Elektromigration weitgehend mit Gleichstrom untersucht. Ziel des Vorhabens ist es, Elektromigration unter Hochfrequenzeinfluss zu untersuchen, die Bedeutung zu bewerten und Mikroelektroniktechnologien mit Bezug auf Elektromigration zu qualifizieren.


2. Insbesondere durch den zunehmenden Einsatz von Leistungselektronik im Automobil unterliegt die verbaute Mikroelektronik Temperaturzyklen mit großer Spannweite. Temperaturzyklen verursachen eine enorme Materialbeanspruchung.
   
   Ziel des Einsatzes des Klimaprüfschranks ist es, Temperaturzyklen mit hoher Zahl und kurzer Zyklendauer zu erzeugen, um die Zuverlässigkeit von Automobilmikroelektronikbauteilen bei gleichzeitiger elektrischer Messung und Einsatz von Sensorik zu untersuchen sowie für den Betrieb zu qualifizieren.

Finanzierung: SAB

Projektzeitraum: 19.10.2020 – 28.02.2023