Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTSDie keramische Mehrlagentechnologie (LTCC) ermöglicht durch ihre flexible Strukturierbarkeit die Integration aktorischer Elemente. Diese sind in der Lage Bewegungen auszuführen, Kräfte zu erzeugen oder auch mechanische Arbeit zu verrichten. Die Verwendung von Keramik als Aktormaterial bietet verschiedenartige Vorteile wie hohe Steifigkeit, Temperaturstabilität und Medienbeständigkeit oder auch Biokompatibilität im Vergleich zu Stahl oder Kunststoff. Gegenüber halbleiterbasierten Fertigungstechnologien besteht zudem der Vorteil, auch Komponenten mesoskopischer Größe kostengünstig herstellen zu können. Somit ist der Einsatz von Adaptern oder Verdrahtungsträgern nicht zwingend erforderlich. Eine Applikationsmöglichkeit sind beispielsweise keramische Ventile zur Regelung fluidischer Systeme. Mittels der keramischen Mehrlagentechnologie des Fraunhofer IKTS können sowohl passive Ventile als auch aktiv geregelte thermomechanische, piezoelektrische oder elektrostatische Ventile hergestellt werden.
