Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTSDieses Projekt wird gefördert durch
Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wird durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) kofinanziert.
Förderkennzeichen: 2023 VFE 0012
Projektlaufzeit: 01.10.2023 – 30.09.2026
Beschreibung des Vorhabens:
Mit dem Verbundprojekt der Partner Micro-Hybrid Electronic GmbH, 5microns GmbH und dem Fraunhofer IKTS soll auf Konzeptlevel gezeigt werden, dass sich mit ressourcenschonenden und umweltverträglichen Materialien und Verfahren neuartige Sensoren für die Prozessüberwachung realisieren lassen. Die Detektion von Verbindungen in der Prozesskontrolle setzt voraus, dass das zum Einsatz kommende Schutzfenster des Sensors ausreichend transparent und gegenüber den harschen Prozessmedien und -bedingungen chemisch, mechanisch und thermisch stabil ist. Im Vergleich zum konventionell eingesetzten Saphir bieten Transparentkeramiken (z. B. Mg-Al-Spinell, Yttriumoxid und Magnesiumoxid) das Potenzial einer signifikanten Energie- und damit Kosteneinsparung. Zur Erreichung des Ziels, einen hermetisch dichten IR-Sensor mit keramischem Fenster herzustellen, können herkömmliche Dünnschicht-Metallisierungstechnologien der Halbleiterelektronik und darauf aufbauende Fügeverfahren mit organischen Hilfsmitteln nicht eingesetzt werden. Innerhalb des Projekts werden keramische Fenster ausreichender optischer Qualität und geeignete Aufbau- und Verbindungstechnologien entwickelt.